"Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи"

Частотний перетворювач тиску з чутливим MEMS конденсатором

Осадчук Олександр Володимирович, д.т.н., професор; Осадчук Я.О.

Вінницький національний технічний університет, м. Вінниця, Україна

Анотація

В статті розглянуто частотний перетворювач тиску з чутливим MEMS конденсатором, в якому пасивна індуктивність коливального контуру замінена на активний індуктивний елемент. Отримано аналітичні вирази функції перетворення і рівняння чутливості. Чутливість пристрою складає від 1,45 кГц/кПа до 2,5 кГц/кПа.

Ключові слова: частотний перетворювач, MEMS конденсатор, від'ємний опір.

Аннотация

В статье рассмотрен частотный преобразователь давления с чувствительным MEMS конденсатором, в котором пассивная индуктивность колебательного контура заменена активным индуктивным элементом. Получены аналитические выражения функции преобразования и уравнения чувствительности. Чувствительность устройства составляет от 1,45 кГц/кПа до 2,5 кГц/кПа.

Ключевые слова: частотный преобразователь, MEMS конденсатор, отрицательное сопротивление.

Abstract

The article deals with the frequency transducer of pressure sensitive MEMS capacitor in which passive oscillatory circuit inductance is replaced by an active inductive element. Ana-lytical expressions transformation function and sensitivity equation. The sensitivity of the de-vice is between 1.45 kHz/kPa to 2.5 kHz/kPa.

Keywords: frequency transducer, MEMS capacitor, negative resistance.

Додатки:

Осадчук О.В., Осадчук Я.О.

[Тези]

436 Kb

...