"Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи"

Оцінка можливостей застосування тасітронів в системах електроживлення імпульсних магнетронних розпилюючих систем

Горбенко О. А., магістр електроніки, аспірант

КПІ ім. Ігоря Сікорського, м. Київ, Україна

Анотація

Розглянуто переваги імпульсної МРС. Запропоновано використання тасітрону в системах імпульсного живлення МРС.

Ключові слова: МРС, тасітрон, імпульсна МРС, імпульсний режим живлення.

Аннотация

Рассмотрено преимущество импульсной МРС. Предложено использование таситронов в системах импульсного питания МРС.

Ключевые слова: МРС, таситрон, импульсная МРС, импульсный режим питания.

Abstract

We considered the advantages of impulse magnetron sputtering system. Also, we proposed the use tacitron in pulsed mode impulse magnetron sputtering systems.

Keywords: magnetron sputtering system, tacitron, impulse magnetron sputtering system, pulsed mode.

Додатки:

Горбенко О. А.

[Тези]

507 Kb

...